PRHEI6Me 高能离子注入机

综述：

      普芮玛高能离子注入机主要用于高压器件、功率器件、新分立元件制造的注入工艺和新材料研究、材料改性等领域。设备具有工艺稳定性高、注入深度深、注入覆盖均匀性好、注入参数控制精度高、降低工序复杂程度等优点，与产线兼容性好，工艺覆盖范围十分广泛。

特性：

u  离子能量大，最高6MeV

u  注入深度深，最深3.5μm

u  工艺覆盖范围广

u  适用晶圆尺寸多，4、6、8英寸

u  降低工序复杂程度

参数指标：